| 1 |
学習支援計画書を基に科目の学習目標，概要や行動目
標を理解する．特にこの科目が機械工学科の教育目標
のどの部分を担っているか，具体的な達成レベルの目
安を理解する．
本科目の講義方針を理解し，マイクロプロセッシング
についての基礎的事項，マイクロ，ナノなどのサイズ
概念について学習する． |
講義 |
テキストの“序章”をよく読んで
超精密加工技術の必要性を理解す
る． |
90 |
| 2 |
超精密加工技術における超精密切削の必要性と加工技
術について概説する．
【微小切削機構・超精密旋削における問題点・加工精
度の及ぼす熱変形】 |
講義 |
テキストの第1章を良く読んで理
解する．授業後に市販の超精密加
工機を調査し，工業的な利用法及
びこれを活用した工業製品を理解
する． |
90 |
| 3 |
マイクロ切削技術の応用例とこれを可能とするための
周辺技術について学習する．
【光学素子金型・微細工具・加工装置及び制御】 |
講義 |
講義ノート，配布資料などを利用
して復習するとともに，専門用語
の理解に努める．理解が不十分の
部分については解消できるよう務
める． |
90 |
| 4 |
高エネルギービーム加工などを用いた他の微細加工技
術について学習する．
【種類と発展の経緯・加工原理と応用】
＜中間振り返りと自己点検＞
疑問点の解消，知識の定着，などを目的とした中間振
り返りを行う． |
講義と質疑 |
テキストの第4章を良く読んで理
解する．講義ノート，配布資料な
どを利用して復習するとともに，
専門用語の理解に努める．理解が
不十分の部分については解消でき
るよう務める． |
120 |
| 5 |
【小テスト】第1回から第4回までの学習の理解度を
確認する．
【総合演習】
さまざまな分野へ活用されるマイクロ加工技術に関す
る事例を紹介し，今後の発展について討議する． |
小テスト
講義と質疑 |
講義ノート，配布資料などを利用
して復習するとともに，専門用語
の理解に努める．
理解度が不十分な個所を復習する
． |
90 |
| 6 |
研磨加工の意味と必要性を学習する．このとき，一般
的な内容とともに，身近な（地域の）題材も取り入れ
て研磨の歴史や必要性，さらには身近にある研磨・擦
過作用について実例を提示して概説する．また，砥粒
加工法におけるラッピング，ポリシング，CMP（Chemi
cal Mechanical Polishing）の位置づけや，研削加工
との相違点について学習する． |
講義と質疑 |
テキストを良く読んで理解する．
研磨・CMPに関する2種類のレポー
トを課す．それについて少しずつ
取り組みを開始する． |
90 |
| 7 |
ラッピング（メカニカルポリシング）の種類や特徴を
学習し，使用される消耗副資材の特徴や用途を学習す
る． |
講義と質疑 |
講義ノート・テキスト・配付資料
を利用して復習するとともに専門
用語の理解に努め，疑問点を解消
する．レポートが提示された場合
には計画的に実施し，所定日に提
出できるよう十分に取り組む． |
90 |
| 8 |
CMPで用いられる消耗副資材がプロセスコストに占め
る割合を概説し，有効利用法の必要性を学習する．さ
らに，研磨装置の変遷やプレストン則を学習する．特
にプレストン則で重要となる相対摩擦速度の考え方（
導出方法）を理解する． |
講義と質疑
演習 |
講義ノート・テキスト・配付資料
を利用して復習するとともに専門
用語の理解に努め，疑問点を解消
する．レポートが提示された場合
には計画的に実施し，所定日に提
出できるよう十分に取り組む． |
90 |
| 9 |
CMPで用いられるスラリーやそれに含まれる砥粒に要
求される特徴を学習する． |
講義と質疑
演習 |
講義ノート・テキスト・配付資料
を利用して復習するとともに専門
用語の理解に努め，疑問点を解消
する．レポートが提示された場合
には計画的に実施し，所定日に提
出できるよう十分に取り組む． |
90 |
| 10 |
CMPで用いられるパッドに要求される特徴を学習する
．さらに，CMPの最新評価技術や研磨メカニズムの各
種説を紹介し，そこから消耗副資材に求められる特性
を学習する．
【小テスト】第6回から第10回（の途中）までの学習
の理解度を確認する．
【総合演習】余裕があれば，低炭素社会を実現するた
めに近年導入が大きく進んでいるLED基板やパワーデ
バイス基板，さらには特殊研磨・CMP法について，そ
の構造や製造プロセスを紹介し，今後の発展について
討議する． |
小テスト
講義と質疑 |
講義ノート・テキスト・配付資料
を利用して復習するとともに専門
用語の理解に努め，疑問点を解消
する．レポートが提示された場合
には計画的に実施し，所定日に提
出できるよう十分に取り組む． |
90 |
| 11 |
ナノテクノロジーと関連が強い真空とそれを利用した
加工技術の基礎を学ぶ．真空の概念を学習する．また
，圧力を表す単位を理解する． |
講義と質疑 |
演習問題を復習し，疑問点を解消
する． |
60 |
| 12 |
表面改質に関連が深いプラズマの基礎について学ぶ．
ＣＶＤ，ＰＶＤ，などの具体的な表面改質法の特徴を
学ぶ． |
講義と質疑 |
授業後に市販の表面改質装置を調
査し，工業的な利用法及びこれを
活用した工業製品を理解する． |
60 |
| 13 |
マイクロ・ナノ加工分野で活用されるＳｉの結晶学的
特徴，Ｓｉ単結晶の製造法を学習する．
【総合演習】
演習とその解説によってこれまでの復習を行う．
＜中間振り返りと自己点検＞
疑問点の解消，知識の定着，などを目的とした振り返
り授業を行う． |
演習と解説
レポートの内容を説明する． |
材料科学Ⅰで学習したブラベー格
子，ミラー指数など結晶の表記法
を復習した上で授業に臨む．
提示された課題の調査を開始する
． |
60 |
| 14 |
【小テスト】
第１１回から第１３回までの学習の理解度を確認する
．
【総合演習】
スマートフォンの構造や機能とナノテクノロジーの関
連，具体的な機能性薄膜などを紹介し，今後の発展に
ついて討論する． |
小テスト
講義と質疑
討論 |
講義ノート，配布資料などを利用
して復習するとともに，専門用語
の理解に努める．
理解度が不十分な個所を復習する
． |
120 |
| 15 |
【振り返り授業】
小テストを返却し，模範解答の提示と解説を行う．疑
問点の解消と理解をさらに深めるための質疑応答の時
間を設ける．さらに，提出されたレポートの解説を行
う．
【自己点検】
小テスト及びレポートについて自己点検し，今後の学
習計画を立案する． |
小テスト及びレポートの解説
全体の講評 |
小テストの内容を復習する．
レポートを作成し，授業開始時に
提出する． |
120
120 |
一般に、授業あるいは課外での学習では：「知識などを取り込む」→「知識などをいろいろな角度から、場合によってはチーム活動として、考え、推論し、創造する」→「修得した内容を表現、発表、伝達する」→「総合的に評価を受ける、ＧｏｏｄＷｏｒｋ！」：のようなプロセス（一部あるいは全体）を繰り返し行いながら、応用力のある知識やスキルを身につけていくことが重要です。このような学習プロセスを大事に行動してください。
※学習課題の時間欄には、指定された学習課題に要する標準的な時間を記載してあります。日々の自学自習時間全体としては、各授業に応じた時間（例えば2単位科目の場合、予習2時間・復習2時間／週）を取るよう努めてください。詳しくは教員の指導に従って下さい。