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学習支援計画書(シラバス) 検索システム
専門教育課程 電子情報システム工学科
授業科目区分 科目名 単位数 科目コード 開講時期 履修方法
専門教育課程
専門科目
専門
半導体工学基礎
Fundamentals of Semiconductor Physics
2 K415-01 2026年度
4期(後学期)
修学規程第4条を参照
担当教員名
*印は、実務経験のある教員を示しています。
授業科目の学習・教育目標
キーワード 学習・教育目標
1.半導体 2.半導体製造プロセス 3.古典的電子伝導モデル 4.量子力学の基礎 5.固体のエネルギーバンド理論 現代のあらゆる技術領域を支えている半導体について、各領域でより専門的に学んでいくた めの基礎知識を物理的・数学的考察に基づいて習得する。具体的には、結晶構造、古典的電 子伝導モデル、量子力学の基礎、エネルギーバンド理論、半導体材料物性等について原子・ 分子レベルのミクロな視点から理解するとともに、高純度結晶作製やフォトリソグラフィ等 の半導体製造プロセスの基礎を学習する。(関連する学習・教育目標:M)
授業の概要および学習上の助言
授業では、以下の内容について学ぶ。 (1)半導体デバイスに関する歴史、社会情勢など(イントロダクション) (2)高純度結晶作製、半導体デバイス製造プロセス (3)結晶構造 (4)古典的な電子伝導モデル (5)量子力学の基礎 (6)固体のエネルギーバンド理論 (7)半導体物性、半導体デバイスの基礎 なお、(1)(2)に関しては生成AI等を活用して最新情報を調査することもある。
教科書および参考書・リザーブドブック
教科書:新版 電子物性[森北出版株式会社] 参考書:指定なし リザーブドブック:指定なし
履修に必要な予備知識や技能
多くの学生は、他の科目と比較して、やや難しく感じるだろう。それは、これまでに学んだ経験がない全く新しい物理学(量 子力学)を勉強するからでしょう。しかし、物事の本質を理解する「量子現象の基礎」の理解が進むと、非常に魅力的な科目と 感じると思います。本科目を学習する上で重要なことは、これまでに学んだ物理学(古典物理学)と数学を確実に理解(習得 )していることです。そして、①疑問をもつ、②数式を自分で導出する、③数式の意味および現象を物理的に理解することです 。
学生が達成すべき行動目標
No. 学科教育目標
(記号表記)
M 半導体について、その役割、物性やデバイスの基礎を説明できる。
M 固体の結晶について、結合力、代表的な結晶構造などが説明できる。
M 結晶内の電子の運動について、ドルーデ理論、移動度、緩和時間、有効質量などを用いて説明できる。
M 量子力学の基礎を理解し、シュレーディンガー波動方程式を実際に使うことができる。
M 原子,分子そして結晶状態のエネルギー準位の変化、および、固体におけるエネルギーバンドの形成を説明できる。
M エネルギーバンド理論を用いて、導体、半導体、および絶縁体の違いを説明できる。
達成度評価
評価方法
試験 クイズ
小テスト
レポート 成果発表
(口頭・実技)
作品 ポートフォリオ その他 合計
総合評価割合 40 40 20 0 0 0 0 100
指標と評価割合 総合評価割合 40 40 20 0 0 0 0 100
総合力指標 知識を取り込む力 20 20 5 0 0 0 0 45
思考・推論・創造する力 10 10 5 0 0 0 0 25
コラボレーションと
リーダーシップ
0 0 0 0 0 0 0 0
発表・表現・伝達する力 0 0 5 0 0 0 0 5
学習に取組む姿勢・意欲 10 10 5 0 0 0 0 25
※総合力指標で示す数値内訳、授業運営上のおおよその目安を示したものです。
評価の要点
評価方法 行動目標 評価の実施方法と注意点
試験 試験(40%)の評価: 達成度を確認するための試験を実施する。
クイズ
小テスト
小テスト(40%)の評価: 出題範囲を決めて小テストを実施する。小テストでは、提出されたレポー トの理解度を確認する問題も出題する場合がある。また、授業中に予告なく、小テストを実施する場合が ある
レポート レポート(20%)の評価: 演習問題に関するレポートの内容、数式の導出についての課題のレポートの 内容及び理解度確認の結果をもって評価する。
成果発表
(口頭・実技)
作品
ポートフォリオ
その他
具体的な達成の目安
理想的な達成レベルの目安 標準的な達成レベルの目安
①社会情勢,電子物性等の多面的な観点から総合的に半導体デ バイスの役割,重要性が説明できる。 ②結晶の結合力を理解して代表的な結晶構造が説明できる。 ③量子力学の基礎を理解して、シュレーディンガー波動方程式 が説明できるとともに種々の適用例について解の導出と解が意 味する事柄の説明ができる。 ④固体のエネルギーバンド構造をモデルから導くことができ、 これを用いて固体の電気伝導や導体、半導体、絶縁体の違いを 説明できる。 ⑤エネルギーバンド理論を用いて、半導体の電子物性やデバイ ス動作を定量的に説明できる。 ①半導体デバイスの役割,重要性が説明できる。 ②代表的な結晶構造が説明できる。 ③量子力学の基礎を理解して、シュレーディンガー波動方程式 が説明できるとともに種々の適用例での結果を説明することが できる。 ④固体のエネルギーバンド構造が説明でき、これを用いて固体 の電気伝導や導体、半導体、絶縁体の違いを説明できる。 ⑤エネルギーバンド理論を用いて、半導体の電子物性やデバイ ス動作を説明できる。
CLIP学習プロセスについて
一般に、授業あるいは課外での学習では:「知識などを取り込む」→「知識などをいろいろな角度から、場合によってはチーム活動として、考え、推論し、創造する」→「修得した内容を表現、発表、伝達する」→「総合的に評価を受ける、GoodWork!」:のようなプロセス(一部あるいは全体)を繰り返し行いながら、応用力のある知識やスキルを身につけていくことが重要です。このような学習プロセスを大事に行動してください。
※学習課題の時間欄には、指定された学習課題に要する標準的な時間を記載してあります。日々の自学自習時間全体としては、各授業に応じた時間(例えば2単位科目の場合、予習2時間・復習2時間/週)を取るよう努めてください。詳しくは教員の指導に従って下さい。
授業明細
回数 学習内容 授業の運営方法 学習課題 予習・復習 時間:分※
1 <配布資料、等> 半導体デバイスに関するイントロダクションとして、 半導体の歴史、半導体を取り巻く社会情勢などについ て学ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
2 <配布資料、等> 半導体デバイス製造プロセス(高純度結晶作製、成膜 、フォトリソグラフィ、イオン注入、最先端技術など )の基礎について学ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
3 <教科書第1章、第4章> 結晶の結合力(イオン結合、共有結合、金属結合)、 代表的な結晶構造などについて学ぶ。 古典的な電子伝導モデル(固体内の電子の動き)につ いて学ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
4 <教科書第5章> 量子力学の基礎(粒子性と波動性、不確定性原理、シ ュレーディンガー波動方程式など)について学ぶ。 小テスト、講義と質疑 予習・復習 予復習 200
5 <教科書第5章> 量子力学の基礎(井戸型ポテンシャルなどのシュレー ディンガー波動方程式の適用例)について学ぶ。 講義、質疑 予習・復習 予復習 200
6 <教科書第5章> 量子力学の基礎(水素原子、量子数、パウリの排他原 理、電子軌道、電子配置など)について学ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
7 <中間振り返り、総合演習> 1〜6回目授業までの範囲の理解力のチェック(小テ スト含む) 小テスト、振り返り 予習・復習 予復習 200
8 <教科書第6章> 固体のエネルギーバンド理論(金属の自由電子モデル 、フェルミ・ディラック分布、金属の電子密度分布と フェルミレベルなど)について学ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
9 <教科書第6章> 固体のエネルギーバンド理論(クローニッヒ・ペニー のモデルなど)について学ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
10 <教科書第6章> 固体のエネルギーバンド理論(結晶内における電子の 運動、金属・半導体・絶縁体のエネルギーバンド構造 など)について学ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
11 <教科書第7章> 半導体物性の基礎(真性半導体、n型半導体,p型半導 体など)について学ぶ。 小テスト、講義と質疑 予習・復習 予復習 200
12 <教科書第7章> 半導体物性の基礎(ホール効果など)について学ぶ。 半導体デバイスの基礎(ダイオードなど)について学 ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
13 <教科書第7章> 半導体デバイスの基礎(トランジスタなど)について 学ぶ。 講義と質疑 予習・復習 予復習 200
14 これまでの授業内容の理解度をチェックする(達成度 試験含む)。 達成度試験、講義と質疑 予習・復習 予復習 200
15 達成度試験の返却、振り返り、自己点検 振り返り、自己点検 予習・復習 予復習 200