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対象課程	科目名	単位数	科目コード	開講時期	授業科目区分
博士前期課程（修士課程）	エネルギー材料・デバイス工学研究（池永訓昭） Energy Materials and Devices(Ikenaga Noriaki)	12	2520-03	2023年度通年	専修科目

担当教員名
池永　訓昭

授業科目の学習・教育目標

キーワード

学習・教育目標

1.プラズマ生成・計測 2.機能性薄膜 3.薄膜材料評価・分析 4.超音波デバイス 5.プラズマ滅菌

プラズマプロセスあるいは機能性薄膜材料を対象として，プロセスの改善や機能性の向上を実現するために必要な問題の発見・解決・計画立案などの各種能力を習得する．また，研究で得られた知見に基づいて，新たなプロセスや機能性薄膜材料を第三者に提案できる能力も習得する．これらの活動を通して，様々な物理現象に対して工学的な視点から倫理的に理解し応用できる技術者の育成を目標とする．

授業の概要および学習上の助言

１．プラズマ生成に必要な真空技術の基礎を学び理解する．２．プラズマの持つ特異な特性を学び理解する．３．プラズマを用いた機能性薄膜を作製し，薄膜の評価・分析技術を学び理解する．４．作製した機能性薄膜の評価結果を踏まえて，機能性の更なる改善に取り組む．５．得られた知見を各種学協会で発表し，成果を論文としてまとめる．

教科書および参考書・リザーブドブック
必要な資料は適宜配布する

履修に必要な予備知識や技能
数学と物理に関する基本的なことは理解していること．プラズマの計測や評価・分析においては，専門科目の「電気回路」をはじめ，物性工学，半導体工学について復習しておくとより理解が深まります．

学生が達成すべき行動目標
No.
①	真空に関する基本的な知識を習得し，真空装置を自由に扱うことができる．
②	プラズマの定義を理解し，基本的な特性を説明することができる．
③	プラズマを使った各種成膜プロセスを理解し，それを使って機能性薄膜を作製できる．
④	機能性薄膜の評価・分析ができ，薄膜の特性を論理的に解析できる．
⑤	機能性薄膜の特性向上のためのプラズマプロセスの改善ができる．
⑥	研究成果を学会で発表し，論文にまとめることができる．

達成度評価
評価方法	試験	クイズ小テスト	レポート	成果発表 (口頭・実技)	作品	ポートフォリオ	その他	合計
総合評価割合	0	0	40	60	0	0	0	100

評価の要点
評価方法	行動目標		評価の実施方法と注意点
試験	①
	②
	③
	④
	⑤
	⑥
クイズ小テスト	①
	②
	③
	④
	⑤
	⑥
レポート	①	レ	各種発表時の予稿原稿および修士論文で評価する．
	②	レ
	③	レ
	④	レ
	⑤	レ
	⑥	レ
成果発表 (口頭・実技)	①	レ	パワーポイントを使った進捗報告の実施，および各種学協会での発表をもって評価する．
	②	レ
	③	レ
	④	レ
	⑤	レ
	⑥	レ
作品	①
	②
	③
	④
	⑤
	⑥
ポートフォリオ	①
	②
	③
	④
	⑤
	⑥
その他	①
	②
	③
	④
	⑤
	⑥

具体的な達成の目安

理想的な達成レベルの目安

標準的な達成レベルの目安

１．プラズマ生成に必要な真空技術の基礎を学部生に教えることができる．２．プラズマの定義を踏まえてプラズマの特性を論理的に説明できる．３．プラズマプロセスを用いて機能性薄膜を作製でき，薄膜の評価・分析結果をもと薄膜の特性を第三者に論理的に説明できる．４．プラズマプロセスを用いて機能性薄膜を作製し，主体的に装置の改良やプロセスの改善ができる．５．得られた研究成果を各種学協会で発表し，成果を論文としてまとめることができる．

１．プラズマ生成に必要な真空技術の基礎を説明できる．２．プラズマの定義を説明できる．３．プラズマプロセスを用いて機能性薄膜を作製でき，薄膜の評価・分析結果をもと薄膜の特性を第三者に説明できる．４．ラズマプロセスを用いて機能性薄膜を作製し，指導を受けて装置の改良やプロセスの改善ができる．５．得られた研究成果を各種学協会で発表できる．

※学習課題の時間欄には、指定された学習課題に要する標準的な時間を記載してあります。日々の自学自習時間全体としては、各授業に応じた時間（例えば2単位科目の場合、予習2時間・復習2時間／週）を取るよう努めてください。詳しくは教員の指導に従って下さい。

授業明細
回数	学習内容	授業の運営方法	学習課題予習・復習	時間：分※
1	・研究課題の設定・計画・進捗状況の定期的な報告・後輩への技術的な指導および安全指導・各種学協会での発表・学術論文の投稿